微波等離子清洗去膠技術(shù)

Q240微波等離子去膠清洗機(jī)概述：Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。

Q240微波等離子去膠清洗機(jī)工藝參數(shù)：

• 材質(zhì)：石英玻璃
• 容積：21公升
• 腔體尺寸：直徑240mm，深度460mm
• 腔體后部：鋁
• 腔門：鋁質(zhì)材料制作，抽拉式支撐架跟前門相連，便于手動(dòng)放片；
• 氣體分布：前門擴(kuò)散
• 觀察視窗：防紫外及微波
• 支撐架：鋁質(zhì)材料， 
• 真空連接：DN40 ISO-KF
• 壓力控制：Pirani，1-100Pa
• 真空泵：推薦35m3/h
• 真空閥：電子氣動(dòng)閥，DN40 ISO-KF
• 真空密封：硅樹脂
• 氣體供應(yīng)：
• 氣體通道：3路數(shù)字MFC，裝有電磁閥，1000/500/200sccm（N2校準(zhǔn)），1/4" Swagelok接頭
• 卸壓：電磁閥，1/4" Swagelok接頭
• 功率：2.45GHz，50-1200W連續(xù)可調(diào)
• 耦合：微波天線，鋁質(zhì)諧振器，腔體內(nèi)無電極

系統(tǒng)控制：

• PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
• 10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
• Windows Office兼容
• 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
• 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測
• 自動(dòng)或手動(dòng)操作